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四氟化碳R14


作者:菏澤西冷化工有限公司 發布時間:2018-1-15 本文被閱讀 30 次

四氟化碳 R14


產品名稱 PRODUCT NAME

四氟化碳 R14

四氟化碳又稱四氟甲烷、氟利昂14

Carbon tetrafluoride R14

CAS 號:75-73-0

分子式:CF4

 

物理性質 PHYSICAL PROPERTIES

熔點

-183.6℃

沸點

-128.1℃

液體密度

(-130℃)1.613g/cm3

臨界溫度 ℃

-45.67℃

臨界壓力 MPa

3.73MPa

臨界密度

7.1dm3/mol

在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、易壓縮性氣體,具有很高的穩定性,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水。屬于完全不燃性氣體。

 

應用范圍 APPLICATION SCOPE

四氟化碳可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、航天技術、金屬冶煉、氣相絕緣、低溫制冷等諸多方面大量使用。另外,近期研究發現,四氟化碳的溶氧性很好,可用于超深度潛水代替壓縮空氣,目前該試驗已獲得成功。

 

質量指標 QUALITY STANDARD

CF4, %(V/V)≥

99.999

99.995

99.99

N2, 10-6(V/V) ≤

4

20

40

O2, 10-6(V/V) ≤

1

5

10

CO2, 10-6(V/V) ≤

1

5

10

CO, 10-6(V/V) ≤

0.3

0.5

1

SF6, 10-6(V/V) ≤

1

1

5

H2O, 10-6(V/V) ≤

1

5

10

HF, 10-6(V/V) ≤

0.1

0.3

0.3

TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8),10-6(V/V) ≤

1

10

30

總雜質含量 ppm (V/V) ≤

10

50

100

 

包裝規格 PACKING

產品采用鋼質無縫氣瓶多種規格系列化包裝,滿足不同用戶需求

鋼瓶規格

DOT/48.8 L

DOT/47L

40L

10L

4L

瓶閥型號

CGA580(正絲)  CGA590(反絲)  CGA320  DISS716

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